◎水氧機的霧化原理
將壓電陶瓷片（俗稱霧化片）安裝在水槽的底部，並由驅動電路產生超音波頻率(1.65MHz或2.4MHz)與霧化片工作頻率一致的驅動電壓加在霧化片上，霧化片便會產生超音波振盪。振盪能量在水中沿著與霧化片垂直的方向傳播，在合適的水深情況下，水面被往上推形成水柱。水柱最上方的表面受到大能量的影響，相互衝撞、拉斷水面的表面張力，分裂成許多微小的區域，形成一個一個的微粒子，散發在空氣中形成霧的效果，此為超音波霧化的原理。
◎霧化量
水氧機的霧化片將水成霧後，經風扇送風，從出噴霧口噴出的實際霧量，單位為公克每分鐘（g/min）。霧化量與水氧機的內部結構密切相關。
◎工作水位
水氧機的霧化片表面中心到水平面的垂直距離，單位為毫米（mm）。工作水位是影響水氧機造霧的重要因素。
◎最佳工作水位
在額定工作條件下，水氧機產生最大造霧的工作水位，單位為毫米（mm）。不同供電電壓及工作電流的水氧機，最佳工作水位有所不同。
◎成霧高度
水氧機在霧化工作時，超音波能量在水面形成霧柱的最高點到水平面的垂直距離，單位為毫米（mm）。水氧機的成霧高度決定成霧空間的設計高度。